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低電圧駆動で洗浄可能な真空圧センサーです。半導体製造装置向けの高真空度測定用途に適しています。
MEMSピラニ式真空センサー「PVC1000シリーズ」は、超低消費電力、長寿命、最小限のメンテナンス、低コストを実現しつつ、真空測定手段の小型化を実現いたします。 測定範囲 10^-3～30 mmHg 5mmHg以下の範囲で±5%の高精度 湿度: 0~100% (非結露) 温度補正範囲: -40 ～ 125℃ 耐久圧力: 27.5Bar
DIPによる基板実装型の中低圧圧力センサーです。
NOVA SENSOR「NPC-1220 」ソリッドステート圧力センサーは、校正された出力を広い温度範囲において費用対効果の高いソリューションとして提供します。DIPによる基板実装型のセンサーです。低圧測定では圧力ポートの向きや取り付けのためのリード線も重要ですのでオプションも用意されております。
DIPによる基板実装型の中低圧圧力センサーです。
NOVA SENSOR「NPC-1210 」ソリッドステート圧力センサーは、校正された出力を広い温度範囲において費用対効果の高いソリューションとして提供します。DIPによる基板実装型のセンサーです。 低圧測定では圧力ポートの向きや取り付けのためのリード線も重要ですのでオプションも用意されております。
非常に低コストのセンサーを必要とする大量生産向けのセンサーに最適。
NOVA SENSOR「NPP-301」は、表面実装タイプのシリコン圧力センサーです。 非常に小さい半導体機能ブロックで非常に高い安定性の感度を有するピエゾ抵抗がプラスチックパッケージの中に入っています。非常に低コストの センサーを必要とする大量生産向けのセンサーです。
